計測装置を備えたプラズマ発生装置及びプラズマ推進器

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：酒井宏明 , 高村順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-095399
公開番号（公開出願番号）：特開2015-213020
出願日： 2014年05月02日
公開日（公表日）： 2015年11月26日
要約：

【課題】プラズマの状況を安定して適切に制御可能な計測装置を備えたプラズマ発生装置。及びそれを用いたプラズマ推進器を提供すること。【解決手段】本発明の計測装置を備えたプラズマ発生装置1は、内部に導入されたガスをイオン化してプラズマを生成する放電容器100と、プラズマの発光スペクトルによりプラズマの電子密度を測定する発光モニタ200と、放電容器100に配置されたプローブ204によりプラズマの電子密度を測定するプローブ計測器205と、発光モニタ200及びプローブ計測器205によるプラズマの電子密度の測定結果に基づいてカソード103に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する制御装置203と、プラズマから発光モニタ200に入光する光の光軸X1を変化させる光軸駆動部202と、を具備することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内部に導入されたガスをイオン化してプラズマを生成するプラズマ生成部と、前記プラズマの発光スペクトルにより前記プラズマの電子密度を測定する発光分光計測装置と、前記プラズマ生成部に配置されたプローブにより前記プラズマの電子密度を測定するプローブ測定装置と、前記発光分光計測装置及び前記プローブ測定装置による前記プラズマの電子密度の測定結果に基づいて前記プラズマ生成部に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する制御装置と、前記プラズマから前記発光分光計測装置に入光する光の光軸を変化させる光軸駆動部と、を具備することを特徴とする計測装置を備えたプラズマ発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/00 , H05H 1/54 , H05H 1/46 , F03H 1/00 , H01L 21/306

FI (5件)：

H05H1/00 A , H05H1/54 , H05H1/46 M , F03H1/00 A , H01L21/302 101G

Fターム (6件)：

5F004BA11 , 5F004BB13 , 5F004CA02 , 5F004CA03 , 5F004CB06 , 5F004CB09

引用特許：

審査官引用 (6件)

多結晶シリコン薄膜形成方法及び薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-227388 出願人：日新電機株式会社
プラズマモニタリング方法、プラズマモニタリング装置及びプラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-117817 出願人：東京エレクトロン株式会社
プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-069902 出願人：株式会社東芝

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