非対称偏光を用いた干渉計及びそれを用いた光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-551203
公開番号（公開出願番号）：特表2015-503754
出願日： 2013年01月11日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：

本発明は、干渉計及びそれを用いた光学装置に関するものである。従来の光学装置は、干渉縞が鮮明でなく、光源と干渉計との間の距離に制約があるため、高精度の制御装置が必要であるという問題があった。そこで、本発明は、干渉計の波長板を制御することで、偏光ビームスプリッタにより分割される対象光と基準光の振幅を非対称として、干渉縞の明暗を調節することができるように改善するとともに、光学装置の光源としてチューナブルレーザを用い、周波数走査方式を適用することで、光源と干渉計との間の距離に制約がないようにした。本発明による干渉計及び光学装置は、偏光ビームスプリッタに入射される直線偏光された光の偏光方向を制御することができる波長板、偏光ビームスプリッタ、対象光及び基準光が撮像装置で干渉可能となるように偏光を変換する波長板及び偏光板を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源から発生した光の進行方向に設けられる第1波長板370と、前記第1波長板370を通過した光の一部を第1方向に反射させ、光の一部を第2方向に透過させる第1偏光ビームスプリッタ310と、前記第1方向に反射された光の進行方向に配置される第2波長板340と、前記第2方向に透過された光の進行方向に配置される第3波長板350と、前記第2波長板340を通過した光の進行方向に配置される測定対象物320と、前記第3波長板350を通過した光の進行方向に配置される基準ミラー330と、前記測定対象物320で反射された光が前記第2波長板340を通過した後、前記第1偏光ビームスプリッタ310を透過した光、及び前記基準ミラー330で反射された光が前記第3波長板350を通過した後、前記第1偏光ビームスプリッタ310で反射された光が進行する方向に配置される第1偏光板360と、を含むことを特徴とする干渉計。

IPC (1件)：

G01B 9/02

FI (1件)：

G01B9/02

Fターム (13件)：

2F064CC02 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG23 , 2F064GG31 , 2F064GG37 , 2F064GG38 , 2F064GG39 , 2F064HH08 , 2F064HH09 , 2F064JJ01 , 2F064JJ15

引用特許：

審査官引用 (6件)

干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-119168 出願人：株式会社島津製作所
干渉縞による形状・段差測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-084716 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
特開平1-167603

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