特許
J-GLOBAL ID：201503015775182050

半導体装置およびその作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

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肥塚 純一

肥塚 純一 について

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神長 正美

神長 正美 について

, 
島 行徳

島 行徳 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-020195
公開番号（公開出願番号）：特開2015-181151
出願日： 2015年02月04日
公開日（公表日）： 2015年10月15日
要約：
【課題】半導体装置に良好な電気特性を付与する。【解決手段】第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、酸化物半導体層と、第1乃至第3の導電層と、を有し、酸化物半導体層は、第1の絶縁層と接する領域を有し、第1の導電層は酸化物半導体層と接続され、第2の導電層は酸化物半導体層と接続され、第2の絶縁層は酸化物半導体層と接する領域を有し、第3の導電層は第2の絶縁層と接する領域を有し、酸化物半導体層は第1乃至第3の領域を有し、第1の領域および第2の領域は離れて設けられ、第3の領域は第1の領域と第2の領域との間に設けられ、第3の領域と第3の導電層とは第2の絶縁層を介して重なる領域を有し、第1の領域および第2の領域は炭素濃度が第3の領域よりも高い部分を有する構成とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、酸化物半導体層と、第1乃至第3の導電層と、を有する半導体装置であって、 前記酸化物半導体層は、前記第1の絶縁層と接する領域を有し、 前記第1の導電層は、前記酸化物半導体層と電気的に接続され、 前記第2の導電層は、前記酸化物半導体層と電気的に接続され、 前記第2の絶縁層は、前記酸化物半導体層と接する領域を有し、 前記第3の導電層は、前記第2の絶縁層と接する領域を有し、 前記第2の絶縁層は、ゲート絶縁膜として機能することができる領域を有し、 前記第1の導電層は、ソース電極またはドレイン電極の一方として機能することができる領域を有し、 前記第2の導電層は、ソース電極またはドレイン電極の他方として機能することができる領域を有し、 前記第3の導電層は、ゲート電極として機能することができる領域を有し、 前記酸化物半導体層は、第1乃至第3の領域を有し、 前記第1の領域および前記第2の領域は離れて設けられ、 前記第3の領域は、前記第1の領域と前記第2の領域との間に設けられ、 前記第3の領域と前記第3の導電層とは、前記第2の絶縁層を介して重なる領域を有し、 前記第1の領域および前記第2の領域は、炭素濃度が前記第3の領域よりも高い部分を有することを特徴とする半導体装置。
IPC (14件)：
H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/08 ,  H01L 27/06 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/10 ,  G09F 9/30 ,  G02F 1/136 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/02
FI (24件)：
H01L29/78 616V ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 616A ,  H01L29/78 617N ,  H01L29/78 618E ,  H01L29/78 618C ,  H01L29/78 616L ,  H01L29/78 619A ,  H01L27/08 102E ,  H01L27/08 331E ,  H01L27/08 102B ,  H01L27/08 102C ,  H01L27/06 102A ,  H01L27/10 321 ,  H01L27/10 461 ,  H01L27/10 621Z ,  H01L27/10 671Z ,  H01L27/10 681F ,  H01L27/10 671A ,  G09F9/30 338 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z ,  H05B33/02
Fターム (229件)：
2H192AA24 ,  2H192BA25 ,  2H192BC24 ,  2H192BC31 ,  2H192CB05 ,  2H192CB08 ,  2H192CB37 ,  2H192CB42 ,  2H192CB45 ,  2H192CB52 ,  2H192CB53 ,  2H192CB56 ,  2H192CB82 ,  2H192CC32 ,  2H192DA12 ,  2H192DA72 ,  2H192EA22 ,  2H192EA43 ,  2H192EA74 ,  2H192FA73 ,  2H192FB02 ,  2H192FB27 ,  2H192FB33 ,  2H192HA84 ,  2H192JA13 ,  3K107AA01 ,  3K107AA05 ,  3K107BB01 ,  3K107BB07 ,  3K107BB08 ,  3K107CC14 ,  3K107CC21 ,  3K107CC33 ,  3K107EE04 ,  3K107FF14 ,  5C094AA13 ,  5C094AA21 ,  5C094AA31 ,  5C094BA03 ,  5C094BA23 ,  5C094BA27 ,  5C094BA31 ,  5C094BA32 ,  5C094BA43 ,  5C094BA62 ,  5C094BA75 ,  5C094CA19 ,  5C094DB04 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094HA03 ,  5C094HA04 ,  5C094HA06 ,  5C094HA07 ,  5C094HA08 ,  5F048AA01 ,  5F048AB01 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048AC10 ,  5F048BA14 ,  5F048BA15 ,  5F048BA16 ,  5F048BA19 ,  5F048BA20 ,  5F048BB02 ,  5F048BB03 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BC18 ,  5F048BD02 ,  5F048BD05 ,  5F048BD06 ,  5F048BD10 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048CB01 ,  5F048CB03 ,  5F048CB04 ,  5F048CB10 ,  5F083AD02 ,  5F083AD03 ,  5F083AD49 ,  5F083AD69 ,  5F083GA01 ,  5F083GA06 ,  5F083GA10 ,  5F083GA21 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA10 ,  5F083JA02 ,  5F083JA05 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083JA60 ,  5F083LA00 ,  5F083LA11 ,  5F083MA06 ,  5F083MA15 ,  5F083MA16 ,  5F083NA01 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33 ,  5F083ZA12 ,  5F083ZA13 ,  5F083ZA14 ,  5F083ZA15 ,  5F110AA01 ,  5F110AA04 ,  5F110AA07 ,  5F110AA09 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB08 ,  5F110BB11 ,  5F110CC01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC10 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE23 ,  5F110EE25 ,  5F110EE30 ,  5F110EE38 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF06 ,  5F110FF09 ,  5F110FF12 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG05 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG26 ,  5F110GG28 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG36 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ06 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ18 ,  5F110HJ30 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM05 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN05 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN28 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110NN74 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19
引用特許：
審査官引用 (4件)
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