特許
J-GLOBAL ID：201503015884934240

MEMSチューナブル短共振器レーザ

発明者：
ケーブル、アレックス、エズラ

ケーブル、アレックス、エズラ について

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ジャヤラマン、ヴィジャイシェカー

ジャヤラマン、ヴィジャイシェカー について

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ポッドセッド、ベンジャミン、ミッシェル

ポッドセッド、ベンジャミン、ミッシェル について


出願人/特許権者：
ソルラブス、インコーポレイテッド

ソルラブス、インコーポレイテッド について

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プラエビウム リサーチ、インコーポレイテッド

プラエビウム リサーチ、インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 廣瀬 隆行 ,  関 大祐
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-524494
公開番号（公開出願番号）：特表2015-527737
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2015年09月17日
要約：
MEMSチューナブル源は、SSOCT撮像システム、分光検出システム、ならびにその他の種類の検出および感知システムにおける性能および信頼性が最適化される短共振器レーザを含む。大型自由スペクトル領域共振器、高速同調応答、および単一縦横モード動作を有するMEMS-チューナブル短共振器レーザを開示する。平坦で広域の周波数応答を可能にする、複数の支柱を有する応力処理窒化ケイ素メンブレンを含むMEMS駆動機構を開示する。チューナブル源の低リップル動作のサポートも開示する。
請求項（抜粋）：
中心波長(220)を有する放射波長帯(210)にわたって、前記波長帯にわたる出力パワースペクトル(200)と平均放射パワーでチューナブル放射光を放射するチューナブルレーザであって、 第1および第2のミラー(130、140)を含む光共振器と、 前記第1および第2のミラー(130、140)の間に介在するゲイン領域(110)と、 空隙同調領域(1120)と、 前記波長帯にわたって透光性であり剛体の支持構造(750)に装着される変形可能誘電メンブレン(760)を備えた、前記空隙を調節するMEMS駆動機構と を備え、 前記光共振器の自由スペクトル領域(FSR)が前記中心波長の5%を超え、 前記チューナブルレーザが前記波長帯にわたって略単一縦横モードで動作し、 前記MEMS駆動機構が約1kHz超の6dB帯域幅の波長同調周波数応答を有する、 チューナブルレーザ。
IPC (3件)：
H01S 5/183 ,  H01S 5/14 ,  H01S 5/343
FI (3件)：
H01S5/183 ,  H01S5/14 ,  H01S5/343
Fターム (13件)：
5F173AC03 ,  5F173AC14 ,  5F173AC35 ,  5F173AC42 ,  5F173AC46 ,  5F173AD30 ,  5F173AF03 ,  5F173AF04 ,  5F173AG05 ,  5F173AH06 ,  5F173AP32 ,  5F173AP33 ,  5F173AR06
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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