特許
J-GLOBAL ID：201503016264210085
ローラ式加圧装置、インプリント装置、ローラ式加圧方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥田 律次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-550689
特許番号：特許第5644014号
出願日： 2013年06月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対象物をローラによって加圧するためのローラ式加圧装置であって、
前記ローラが配置された調圧プレートと、
前記調圧プレートに配置され、前記ローラを前記対象物に対して相対的に移動するローラ移動手段と、
前記調圧プレートの両面にかかる流体の差圧によって生じる力が前記ローラに加わるように当該調圧プレートを保持する調圧部と、
前記ローラの圧力を、前記対象物を間に挟んで受ける受圧ステージと、
前記調圧プレートの両面にかかる流体圧の差圧を調節する調圧手段と、
を具備することを特徴とするローラ式加圧装置。
IPC (2件)：
B29C 59/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
B29C 59/04 C
, H01L 21/30 502 D
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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