特許
J-GLOBAL ID：201303080834669660
ローラー式インプリントシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 朔生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-175130
公開番号（公開出願番号）：特開2013-119254
出願日： 2012年08月07日
公開日（公表日）： 2013年06月17日
要約：
【課題】ソフトモールドを運用してパターンを基板上に複製する、ローラー式インプリントシステムの提供。【解決手段】本発明のローラー式インプリントシステムは、ローラーモジュール、伝動モジュール、固定モジュール、固化モジュール、電子制御モジュールを含み、ローラーを利用して加圧することでソフトモールド上のパターンを基板上に円滑に転写することができる。【選択図】図6A
請求項（抜粋）：
ソフトモールドのパターンを基板に転写するために用いるローラー式インプリントシステムであって、ローラーモジュール、伝動モジュール、ベルトモジュール、電子制御モジュールを含み、
前記ローラーモジュールがローラーを含み、
前記伝動モジュールが移動可能な積載台を含み、且つ前記積載台上に前記基板が設置され、
前記ベルトモジュールが、前記ソフトモールドを積載して前記基板と前記ローラーの間に配置させ、前記ソフトモールド上のパターン層を前記基板に対面させ、且つ前記パターンが前記パターン層上に位置し、
前記電子制御モジュールが、前記ローラーモジュールと前記伝動モジュールに接続され、前記ローラーを制御して第1方向に移動させ、且つ前記積載台を第2方向にインプリント位置まで移動させ、そのうち前記電子制御モジュールが前記ローラーを制御して前記ソフトモールドに対し加圧させ、前記パターン層の前記パターンを前記基板上に転写させることを特徴とする、ローラー式インプリントシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 Z
, H01L21/30 502D
4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ11
, 4F209AR02
, 4F209AR09
, 4F209PA02
, 4F209PA03
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 4F209PQ16
, 5F146AA31
