特許
J-GLOBAL ID：201103091564750904
転写装置及び転写方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-054527
公開番号（公開出願番号）：特開2011-183782
出願日： 2010年03月11日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】従来よりも的確な転写をする転写装置を提供する。【解決手段】ローラーヘッド11によりモールド21を被成型品60に線状に押圧して、この押圧している部位に紫外線を照射することにより、モールド21に形成された微細な転写パターンを被成型品60に転写させる転写装置1において、被成型品60を保持するステージ側装置30と、ステージ側装置30を移動させることによりローラーヘッド11が転動してモールド21が押圧している押圧部位61を移動させるベース側装置40と、押圧部位61からステージ側装置30の移動方向に紫外線を照射する紫外線照射装置50とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ローラーヘッドによりモールドを被成型品に線状に押圧して、この押圧している部位に紫外線を照射することにより、該モールドに形成された微細な転写パターンを該被成型品に転写させる転写装置において、
前記被成型品を保持するステージ側装置と、
前記ステージ側装置を移動させることにより前記ローラーヘッドが転動して前記モールドが押圧している押圧部位を移動させるベース側装置と、
前記押圧部位から前記ステージ側装置の移動方向に紫外線を照射する紫外線照射装置とを有することを特徴とする転写装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/04 Z
, H01L21/30 502D
4F209AA44
, 4F209AD08
, 4F209AF01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209PA03
, 4F209PB02
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
, 5F146AA28
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
