特許
J-GLOBAL ID：201503016616583987
ロードポート装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-222978
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088500
出願日： 2013年10月28日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】ロードポート装置におけるポッド内の雰囲気置換を行う構成の小型化を図る。【解決手段】雰囲気置換のための構成を、鍔部を有して一の開口が載置台上に位置する筒状のガス流通ノズルと、ガス流通ノズルが軸方向に貫通して鍔部によって第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室に分離画定される圧力室を有するハウジング部と、ガス流通ノズルの他の開口が内部に開口して圧力室との位置関係が固定されるガス流通室と、第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室の間に差圧を生成させて該差圧を鍔部に作用させてガス流通ノズルを軸方向に移動させる差圧生成手段と、により構築する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ポッドの蓋を開閉して前記ポッドに対して被処理物の挿脱を可能とし、被処理物の処理装置に付随して、前記処理装置に対する前記被処理物の搬送を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドが載置される載置台と、
鍔部を有して一の開口が前記載置台上に位置する筒状のガス流通ノズルと、
前記ガス流通ノズルが軸方向に貫通し、前記鍔部によって第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室に分離画定される圧力室を有するハウジング部と、
前記ガス流通ノズルの他の開口が内部に開口し、前記圧力室との位置関係が固定されるガス流通室と、
前記第一の圧力調整室及び前記第二の圧力調整室の間に差圧を生成させ、前記差圧を前記鍔部に作用させて前記ガス流通ノズルを前記軸方向に移動させる差圧生成手段と、を有することを特徴とするロードポート装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA32
, 5F131CA38
, 5F131GA14
, 5F131GA22
, 5F131GA92
, 5F131HA04
, 5F131HA29
, 5F131JA04
, 5F131JA12
, 5F131JA27
, 5F131JA33
, 5F131JA34
, 5F131JA35
