特許
J-GLOBAL ID：201403074514344476
パージノズルユニット、パージ装置、ロードポート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-132210
公開番号（公開出願番号）：特開2013-258206
出願日： 2012年06月11日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：
【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、ノズル本体の昇降動作を簡単な制御で行うことでき、さら部品点数の削減及びコンパクト化を実現可能なパージノズルユニットを提供する。【解決手段】胴部及び胴部よりも側方に張り出した鍔部8を備えたノズル本体2と、鍔部8の外向き面に添接する側壁31及び胴部の外向き面が添接する貫通孔32を形成した底壁33を有するホルダ3とを備えた、ホルダ3に外部に連通する通気孔30を形成し、記ノズル本体2とホルダ3との間に形成され且つ通気孔に連通する圧力調整空間の圧力を調整することによって、ノズル本体2をホルダ3に対して昇降移動させるパージノズルユニットにした。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
前記パージ用気体を通過させ得る胴部、及び前記胴部よりも側方に張り出した鍔部を有するノズル本体と、
前記鍔部の外向き面に添接する側壁、及び前記胴部の外向き面を添接させ且つ挿通させた貫通孔を形成した底壁を有するホルダとを備え、
前記ホルダの少なくとも一部に外部に連通する通気孔を形成し、
前記ノズル本体と前記ホルダとの間に形成され且つ前記通気孔に連通する圧力調整空間の圧力を調整することによって、前記ノズル本体を前記ホルダに対して昇降移動させるように構成したパージノズルユニット。
IPC (2件)：
H01L 21/677
, H01L 21/673
H01L21/68 A
, H01L21/68 T
5F131AA02
, 5F131CA17
, 5F131CA38
, 5F131DA05
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DD10
, 5F131DD43
, 5F131DD82
, 5F131FA02
, 5F131FA14
, 5F131GA14
, 5F131GA76
, 5F131GA92
, 5F131HA29
, 5F131JA04
, 5F131JA12
, 5F131JA35
, 5F131KA11
, 5F131KA54
, 5F131KA73
, 5F131KB32
