特許
J-GLOBAL ID：201403035097998144

パージノズルユニット、パージ装置、ロードポート

発明者：
夏目 光夫

夏目 光夫 について

, 
鈴木 淳志

鈴木 淳志 について


出願人/特許権者：
シンフォニアテクノロジー株式会社

シンフォニアテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-177923
公開番号（公開出願番号）：特開2014-036185
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
要約：
【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、FOUP等のパージ対象容器の底面に設けたポートの下向き面が水平ではない場合であっても、そのようなポートに上端部を密着させることが可能なパージノズルユニットパージノズルユニットを提供する。【解決手段】パージ対象容器100の底面に設けたポート101を通じてパージ対象容器内100の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニット1を、下方から上方に向かうパージ用気体供給方向Aに沿って延伸するパージ用気体流路23を内部に形成したノズル本体2と、ノズル本体2の少なくとも上端部分を首振り動作可能に支持する傾動支持部3とを備えた構成にした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、 下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成したノズル本体と、 前記ノズル本体の少なくとも上端部分を傾動可能に支持する傾動支持部とを備えていることを特徴とするパージノズルユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/673 ,  B65G 49/00
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  B65G49/00 C
Fターム (18件)：
5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131DA05 ,  5F131DA42 ,  5F131FA02 ,  5F131FA14 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA14 ,  5F131GA76 ,  5F131GA92 ,  5F131HA06 ,  5F131JA04 ,  5F131JA12 ,  5F131JA24 ,  5F131JA33 ,  5F131KA11 ,  5F131KB32
引用特許：
審査官引用 (6件)
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