圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054424
公開番号（公開出願番号）：特開2012-150121
特許番号：特許第5665197号
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体基板を加工して薄膜のダイアフラム部及び該ダイアフラム部の圧力による撓みを検出する検出素子が形成されたセンサチップと、センサチップを収納する一面を円形状に開口した略箱形のボディ並びにボディに取り付けられて被圧力検出流体をボディ内部に導入する導入口を有する導入管から成るパッケージとを備え、前記導入管には、その一端部の周方向に沿って外側に向けて突出する鍔部が一体に設けられ、該鍔部は、円形状に形成され、ボディの前記開口を塞ぐようにボディの内側に配設するとともに、封止材で封止されることでボディに取り付けられることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：