特許
J-GLOBAL ID：201503018987871768
分子メモリ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-130060
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254868
特許番号：特許第5779138号
出願日： 2012年06月07日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内部に空隙が形成された絶縁膜と、
タングステンからなり、前記絶縁膜中に設けられ、第1方向に延び、その側面の上部及び上面が前記空隙の下面において露出した第1配線と、
モリブデンからなり、前記絶縁膜中に設けられた第2配線と、
前記空隙内に配置され、前記第1配線に結合された抵抗変化型分子鎖と、
を備え、
前記第2配線は、
前記第1方向に対して交差した前記第2方向に延びる本体部と、
前記第1配線の直上域に配置され、前記本体部から前記第1配線に向けて突出し、その側面の下部及び下面が前記空隙の上面において露出した凸部と、
を有し、
前記空隙の側面は、前記第1配線の側面の延長面及び前記第2配線の側面の延長面よりも外側に配置されている分子メモリ。
IPC (5件)：
H01L 27/28 ( 200 6.01)
, H01L 51/05 ( 200 6.01)
, H01L 27/105 ( 200 6.01)
, H01L 45/00 ( 200 6.01)
, H01L 49/00 ( 200 6.01)
H01L 27/10 449
, H01L 27/10 448
, H01L 45/00 Z
, H01L 49/00 Z
, H01L 29/28 100 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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