特許
J-GLOBAL ID：201503021159888940

インジウム酸化物(In2O3)単結晶を成長させる方法及び装置並びにインジウム酸化物(In2O3)

発明者：
ガウォンスカ,ズビグネフ

ガウォンスカ,ズビグネフ について

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ユッカー,ラインハルト

ユッカー,ラインハルト について

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フォルナーリ,ロベルト

フォルナーリ,ロベルト について


出願人/特許権者：
フォルシュングスフェアブント・ベルリン・アインゲトラーゲナー・フェライン

フォルシュングスフェアブント・ベルリン・アインゲトラーゲナー・フェライン について


代理人 (13件)： 奥山 尚一 ,  有原 幸一 ,  松島 鉄男 ,  河村 英文 ,  中村 綾子 ,  森本 聡二 ,  角田 恭子 ,  田中 祐 ,  徳本 浩一 ,  渡辺 篤司 ,  児玉 真衣 ,  水島 亜希子 ,  増屋 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-507386
公開番号（公開出願番号）：特表2015-515441
出願日： 2012年04月24日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：
融液から真にバルク状のIn2O3単結晶を成長させる方法及び装置並びに溶融成長したバルク状のIn2O3単結晶が開示されている。成長法は、In2O3出発物質(23)を含む貴金属製のるつぼ(4)を加熱する間に、初めは非導電性のIn2O3出発物質(23)を制御されて分解し、このようにして温度上昇と共にIn2O3出発物質(23)の導電率を増加させて、In2O3付近でのるつぼ壁(26)を介しての誘導コイル(6)の電磁場と結合するのに十分な導電率にする。このような結合により液状のIn2O3出発物質の一部(23.1)が電磁浮上し、その際、首部(26)が結晶種として働く。液状のIn2O3出発物質を含む貴金属製のるつぼ(4)を冷却する間、少なくとも1つのバルク状のIn2O3単結晶(28.1、28.2)が形成される。この新規な結晶成長法を我々は「浮上支援自己種形成結晶成長法」と名付けた。融液からバルク状のIn2O3単結晶を成長させる装置は、誘導加熱されるサーマルシステムを備え、サーマルシステムは貴金属製のるつぼ(4)と排出通路(22、22.1)とを備え、排出通路(22、22.1)は、In2O3のガス状の分解生成物を排出させ、その際、非常に低い温度勾配を維持する働きをする。誘導コイル(6)と、貴金属製のるつぼ(4)と、るつぼをカバーする蓋(2)を利用して、非常に低い温度勾配、十分な排出通路及び高い浮上力を得ることができる。溶融成長In2O3単結晶の電気特性は、適切な雰囲気中で適切な温度で少なくとも1つの熱処理により広い範囲で変更できる。
請求項（抜粋）：
バルク状のIn2O3単結晶を成長させる方法であって:i)成長チャンバ(2)内にサーマルシステム(3、103)を設けるステップであって、前記サーマルシステム(3、103)が、初めに非導電性のIn2O3出発物質(23)を含む貴金属製のるつぼ(4、104)と、前記貴金属製のるつぼ(4、104)の底部及び側面を囲む、るつぼ断熱材(9)と、前記貴金属製のるつぼ(4、104)の周囲に配置して、無線周波数(RF)発生器(7)に接続する誘導コイル(6、106)とを備えるものであり、前記るつぼの壁厚(th)を、下記式に示すように、前記誘導コイルにより貴金属製のるつぼ壁(24)内に誘導された渦電流の侵入深さより大きくしないステップ
IPC (3件)：
C30B 29/16 ,  C30B 11/00 ,  C30B 30/08
FI (3件)：
C30B29/16 ,  C30B11/00 Z ,  C30B30/08
Fターム (36件)：
4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB06 ,  4G077BB10 ,  4G077BE11 ,  4G077BE13 ,  4G077BE15 ,  4G077CD10 ,  4G077EA01 ,  4G077EA05 ,  4G077EA07 ,  4G077EB01 ,  4G077EG02 ,  4G077EG18 ,  4G077EG20 ,  4G077EG21 ,  4G077EH07 ,  4G077EJ06 ,  4G077FE02 ,  4G077FE12 ,  4G077FJ06 ,  4G077GA07 ,  4G077HA01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA11 ,  4G077HA12 ,  4G077MA01 ,  4G077MA02 ,  4G077MB14 ,  4G077MB21 ,  4G077MB22 ,  4G077MB23 ,  4G077MB33 ,  4G077MB35 ,  4G077RA07
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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