特許
J-GLOBAL ID：201503022464743673
赤外線用バンドパスフィルタ
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
森 哲也
, 田中 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-225483
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087526
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】 赤外線領域における特定の波長の光に対して高い選択性を保ちつつ、高い透過率で透過させる赤外線用バンドパスフィルタを提供すること。【解決手段】 赤外線用バンドパスフィルタは、半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、膜厚方向に貫通した開口部が一定の繰り返し単位で設けられた格子配列を有し、該開口部の繰り返し単位の全面積に対する該開口部の面積比率が10%以上26%未満である金属層と、前記金属層上に形成された誘電体層とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板と
前記半導体基板上に形成され、膜厚方向に貫通した開口部が一定の繰り返し単位で設けられた格子配列を有し、該開口部の繰り返し単位の全面積に対する該開口部の面積比率が10%以上26%未満である金属層と、
前記金属層上に形成された誘電体層と
を備える
ことを特徴とする赤外線用バンドパスフィルタ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H148AA07
, 2H148AA12
, 2H148AA22
