流量モニタ付圧力式流量制御装置の実ガスモニタ流量初期値のメモリ方法及び実ガスモニタ流量の出力確認方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉本丈夫 , 谷田龍一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-513905
特許番号：特許第5727596号
出願日： 2012年04月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記の(1)又は(2)に記載の流量モニタ付圧力式流量制御装置を配管路へ取付けしたあと、先ずN2ガスを導入して圧力式流量制御部の制御流量出力A2と熱式流量モニタ部のモニタ流量出力B2 ́との対比を行い、両者の差異が許容範囲内の場合には、次に実ガスを導入して各設定流量値に於ける熱式流量モニタ部のモニタ流量出力B2 ́の初期値を検出並びにメモリした後、圧力式流量演算部の制御流量出力A2に対する熱式流量モニタ部のモニタ流量出力B2 ́の対比を行い、両者の差異が許容範囲内にあれば、実ガスモニタ流量出力B2 ́を出力すると共に、前記初期値メモリを有効なメモリとするようにした、流量モニタ付圧力式流量制御装置の実ガスモニタ流量初期値のメモリ方法及び実ガスモニタ流量の出力確認方法。 (1)流体の入口側通路と,入口側通路の下流側に接続した圧力式流量制御部を構成するコントロール弁と,コントロール弁の下流側に接続した熱式流量センサと,熱式流量センサの下流側に連通する流体通路に介設したオリフィスと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路近傍に設けた温度センサと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路に設けた圧力センサと,前記オリフィスに連通する出口側通路と,前記圧力センサからの圧力信号及び温度センサからの温度信号が入力され、オリフィスを流通する流体の流量値Qを演算すると共に演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向に前記コントロール弁を開閉作動させる制御信号Pdを弁駆動部へ出力する圧力式流量演算制御部及び前記熱式流量センサからの流量信号が入力され、当該流量信号からオリフィスを流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部とから成る制御部と,から構成したことを特徴とする流量モニタ付圧力式流量制御装置。 (2)流体の入口側通路と,入口側通路の下流側に接続した圧力式流量制御部を構成するコントロール弁と,コントロール弁の下流側に接続した熱式流量センサと,熱式流量センサの下流側に連通する流体通路に介設したオリフィスと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路の近傍に設けた温度センサと,前記コントロール弁とオリフィスの間の流体通路に設けた圧力センサ(5)と,前記オリフィスに連通する出口側通路と,前記オリフィスの下流側の出口側通路に設けた圧力センサ(17)と,前記圧力センサ(5)及び圧力センサ(17)からの圧力信号及び温度センサからの温度信号が入力され、オリフィスを流通する流体の臨界膨張条件の監視やオリフィスを流通する流体の流量値Qを演算すると共に、演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向に前記コントロール弁を開閉作動させる制御信号Pdを弁駆動部へ出力する圧力式流量演算制御部及び前記熱式流量センサからの流量信号が入力され、当該流量信号からオリフィスを流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部とから成る制御部と,から構成したことを特徴とする流量モニタ付圧力式流量制御装置。

IPC (1件)：

G05D 7/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G05D 7/06 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

マスフローコントローラ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-038803 出願人：株式会社エステック
圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-228526 出願人：株式会社フジキン
流体制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-384945 出願人：株式会社フジキン

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