特許
J-GLOBAL ID：200903094013014990

流体制御装置

発明者：
山路 道雄

山路 道雄 について

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篠原 努

篠原 努 について

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坪田 憲士

坪田 憲士 について

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廣瀬 隆

廣瀬 隆 について

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池田 信一

池田 信一 について

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土肥 亮介

土肥 亮介 について

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西野 功二

西野 功二 について


出願人/特許権者：
株式会社フジキン

株式会社フジキン について


代理人 (1件)： 杉本 丈夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-384945
公開番号（公開出願番号）：特開2005-149075
出願日： 2003年11月14日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 ガス制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、部品点数を削減できて装置自体のより一層の小型化を図れると共に、高精度な流量制御を行えるようにする。【解決手段】 下段に配置されて流体通路1a,2a,3a,4a,5aを夫々形成した複数のブロック継手1,2,3,4,5と、上段に配置されてブロック継手1,2,3,4,5に連通状に夫々接続された複数の流体制御機器6,7,8,9とから構成した流体制御装置に於いて、各流体制御機器9のうち、一つの流体制御機器9を、流量制御用のオリフィス11と、オリフィス11の上流側に設けたコントロールバルブ12と、オリフィスとコントロールバルブ12の間に設けられてオリフィス11の上流側圧力を検出する上流側圧力センサー13とを具備し、上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブ12の開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置9とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下段に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に配置されて各ブロック継手に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、前記各流体制御機器のうち、一つの流体制御機器が、流量制御用のオリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けられてオリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサーとを備え、上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにした圧力式流量制御装置で構成されていることを特徴とする流体制御装置。
IPC (4件)：
G05D7/06 ,  F16K27/00 ,  F16K37/00 ,  F17D1/02
FI (5件)：
G05D7/06 Z ,  F16K27/00 B ,  F16K27/00 C ,  F16K37/00 J ,  F17D1/02
Fターム (33件)：
3H051AA01 ,  3H051BB02 ,  3H051BB03 ,  3H051BB10 ,  3H051CC01 ,  3H051CC14 ,  3H051CC15 ,  3H051FF09 ,  3H065AA01 ,  3H065BA01 ,  3H065BB14 ,  3H065CA01 ,  3H065CA03 ,  3H065CA07 ,  3J071AA02 ,  3J071BB14 ,  3J071DD14 ,  3J071EE02 ,  3J071EE24 ,  3J071FF01 ,  3J071FF11 ,  5H307AA02 ,  5H307BB01 ,  5H307BB09 ,  5H307DD01 ,  5H307DD11 ,  5H307EE02 ,  5H307EE19 ,  5H307FF13 ,  5H307JJ01 ,  5H307JJ03 ,  5H307KK01 ,  5H307LL03
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 流体制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-278495   出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン
  • 流体制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-065986   出願人：株式会社東芝, 東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジキン
  • 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-274546   出願人：株式会社アルバック, 株式会社フジキン
審査官引用 (4件)
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