特許
J-GLOBAL ID：201503043540138617
イオンビーム測定装置及びイオンビーム測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-134052
公開番号（公開出願番号）：特開2015-011770
出願日： 2013年06月26日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
【課題】単純な構成で二方向のビーム角度を測定する。【解決手段】イオンビーム測定装置100は、もとのイオンビームBを、イオンビーム進行方向に垂直であるy方向に長いyビーム部分と、前記進行方向及びy方向に垂直であるx方向に長いxビーム部分と、を備える測定用イオンビームBmに整形するためのマスク102と、yビーム部分のx方向位置を検出し、xビーム部分のy方向位置を検出するよう構成されている検出部104と、x方向位置を用いてx方向ビーム角度を演算し、y方向位置を用いてy方向ビーム角度を演算するよう構成されているビーム角度演算部108と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
もとのイオンビームを、イオンビーム進行方向に垂直であるy方向に長いyビーム部分と、前記進行方向及びy方向に垂直であるx方向に長いxビーム部分と、を備える測定用イオンビームに整形するためのマスクと、
前記yビーム部分のx方向位置を検出し、前記xビーム部分のy方向位置を検出するよう構成されている検出部と、
前記x方向位置を用いてx方向ビーム角度を演算し、前記y方向位置を用いてy方向ビーム角度を演算するよう構成されているビーム角度演算部と、を備えることを特徴とするイオンビーム測定装置。
IPC (5件)：
H01J 37/317
, G01T 1/29
, G21K 5/04
, H01L 21/265
, H01J 37/04
H01J37/317 B
, G01T1/29 Z
, G21K5/04 A
, H01L21/265 603Z
, H01J37/04 A
2G188BB11
, 2G188BB14
, 2G188BB18
, 2G188DD05
, 2G188DD23
, 2G188DD30
, 5C030AA01
, 5C030AA10
, 5C030AB05
, 5C034CC19
, 5C034CD08
