特許
J-GLOBAL ID:201503045629154058

試料を分析する方法およびシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小林 浩 ,  大森 規雄 ,  鈴木 康仁
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-556621
公開番号(公開出願番号):特表2015-506484
出願日: 2013年02月06日
公開日(公表日): 2015年03月02日
要約:
本開示は、材料の試料を分析する方法に関する。この方法は、(a)試料の一部分をプラズマに複数回変換するステップと、(b)各試料変換に応答して発出される電磁放射のスペクトルを記録して、試料のスペクトルのシーケンスを規定するステップであり、そのシーケンスの各メンバが、試料変換の異なる1回に応答して記録されたスペクトルに対応するステップと、(c)電子プロセッサを使用して、試料のスペクトルのシーケンスを、参照ライブラリ中の少なくとも1つの参照試料のそれぞれのスペクトルのシーケンスと比較するステップと、(d)電子プロセッサを使用して、ライブラリ中の参照試料との比較に基づいて試料に関する情報を決定するステップとを含む。
請求項(抜粋):
試料を分析する方法であって、 a.前記試料の一部分をプラズマに複数回変換するステップと、 b.前記試料変換のそれぞれに応答して発出される電磁放射のスペクトルを記録して、前記試料のスペクトルのシーケンスを規定するステップであり、前記シーケンスの各メンバが、前記試料変換の異なる1回に応答して記録された前記スペクトルに対応するステップと、 c.電子プロセッサを使用して、前記試料のスペクトルの前記シーケンスを、参照ライブラリ中の複数の参照試料のそれぞれのスペクトルのシーケンスと比較するステップと、 d.前記電子プロセッサを使用して、前記ライブラリ中の前記複数の参照試料との前記比較に基づいて前記試料に関する情報を決定するステップとを含む、方法。
IPC (2件):
G01N 21/63 ,  G01N 21/67
FI (4件):
G01N21/63 A ,  G01N21/63 Z ,  G01N21/67 A ,  G01N21/67 Z
Fターム (20件):
2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043CA04 ,  2G043CA05 ,  2G043DA01 ,  2G043EA09 ,  2G043EA10 ,  2G043EA11 ,  2G043FA06 ,  2G043FA07 ,  2G043GA07 ,  2G043GB21 ,  2G043HA05 ,  2G043JA04 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03
引用特許:
審査官引用 (5件)
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