特許
J-GLOBAL ID：201503046869944591

ファブリペロー干渉フィルタ

発明者：
柴山 勝己

柴山 勝己 について

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笠原 隆

笠原 隆 について

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廣瀬 真樹

廣瀬 真樹 について

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川合 敏光

川合 敏光 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-138870
公開番号（公開出願番号）：特開2015-011312
出願日： 2013年07月02日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
【課題】製造工程の簡易化及び配線の接続不良の発生の抑制を図ることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10Aは、第1ミラー31と、空隙Sを介して第1ミラー31と対向する第2ミラー41と、光透過領域11を囲むように第1ミラー31に形成された第1電極17と、光透過領域11を含み且つ第1電極17の内側に位置するように第1ミラー31に形成された第2電極18と、第1電極17及び第2電極18と対向するように第2ミラー41に形成され、第2電極18と同電位に接続された第3電極19と、第2電極18と第3電極19とを同電位に接続する配線22と、を備え、第1電極17には、第1電極17の内側から外側に至る第1切欠部17aが設けられ、配線22は、第1切欠部17aを通り第2電極18から第1電極17の外側に延びる配線部22bを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1ミラーと、 空隙を介して前記第1ミラーと対向する第2ミラーと、 光透過領域を囲むように前記第1ミラーに形成された第1電極と、 前記光透過領域を含み且つ前記第1電極の内側に位置するように前記第1ミラーに形成された第2電極と、 前記第1電極及び前記第2電極と対向するように前記第2ミラーに形成され、前記第2電極と同電位に接続された第3電極と、 前記第2電極と前記第3電極とを同電位に接続する配線と、を備え、 前記第1電極には、前記第1ミラーと前記第2ミラーとが対向する対向方向から見た場合に前記第1電極の内側から外側に至る第1切欠部が設けられており、 前記配線は、前記第1切欠部を通って前記第2電極から前記第1電極の外側に延びる配線部を有する、ファブリペロー干渉フィルタ。
IPC (1件)：
G02B 26/00
FI (1件)：
G02B26/00
Fターム (14件)：
2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141ME24 ,  2H141MF25 ,  2H141MF26 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ24 ,  2H141MZ28
引用特許：
審査官引用 (4件)
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