特許
J-GLOBAL ID：201203025120111365
光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-060496
公開番号（公開出願番号）：特開2012-198268
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。【解決手段】光フィルター10は、第1基板20と、第2基板30と、第1基板に設けられた第1反射膜40と、第2基板に設けられた第2反射膜50と、平面視で第1反射膜の周囲の位置にて第1基板に設けられた第1,第2電極62,64と、第2基板に設けられて第1,第2電極と対向する第3,第4電極72,74とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1基板と、
前記第1基板と対向する第2基板と、
前記第1基板に設けられた第1電極と、
前記第1電極上に設けられた第1反射膜と、
前記第2基板に設けられ、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、
前記第1基板に設けられ、前記第1基板の厚み方向の平面視において、前記第1電極の周囲に形成された第2電極と、
前記第2基板に設けられ、前記第2基板の厚み方向の平面視において前記第2反射膜の周囲に形成され、前記第1電極と対向する第3電極と、
前記第2基板に設けられ、前記第2電極と対向する第4電極と、
を含むことを特徴とする光フィルター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G020AA04
, 2G020BA20
, 2G020CA12
, 2G020CC27
, 2H141MA22
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MD04
, 2H141MD38
, 2H141MF02
, 2H141MG01
, 2H141MZ03
, 2H141MZ28
