特許
J-GLOBAL ID：201503049504909990
電子部品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-202845
公開番号（公開出願番号）：特開2015-070103
出願日： 2013年09月29日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：
【課題】露光技術を用いて、背高で、断面形状が矩形により近い導体または絶縁体のような機能材料からなる層を備える電子部品を製造する方法を提供する。【解決手段】基体11上に反射防止膜12を形成する。反射防止膜12は、露光に際して、基体11の表面での不所望な光の反射・散乱を防止するためのものである。反射防止膜12上に、感光性機能材料ペーストを塗布し、機能材料ペースト層13aを形成し、機能材料ペースト層13aを露光および現像することにより、所定のパターンを有する機能材料層13を形成する。反射防止膜12は、露光工程において機能材料ペースト層13a中に入射した光15を十分に吸収し得るようにするため、h線の透過率が、同一膜厚で比較したとき、機能材料ペースト層13aについてのh線の透過率より低くされ、たとえば、その膜厚20μmにおけるh線の透過率が1.3%以下とされる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基体上に反射防止膜を形成する工程と、
前記反射防止膜上に、少なくともアルカリ可溶性ポリマー、モノマー、光重合開始剤、溶剤、ガラス粉末および無機材料フィラーを含む感光性機能材料ペーストを塗布し、機能材料ペースト層を形成する工程と、
前記機能材料ペースト層を露光および現像することにより、所定のパターンを有する機能材料層を形成する工程と、
を備え、
前記反射防止膜についてのh線の透過率は、同一膜厚で比較したとき、前記機能材料ペースト層についてのh線の透過率より低いことを特徴とする、
電子部品の製造方法。
IPC (4件)：
H05K 1/16
, H01F 41/04
, H01F 17/00
, G03F 7/20
H05K1/16 B
, H01F41/04 C
, H01F17/00 A
, G03F7/20 501
2H097CA12
, 2H097LA20
, 4E351AA07
, 4E351AA13
, 4E351AA18
, 4E351BB09
, 4E351BB26
, 4E351BB31
, 4E351CC11
, 4E351DD04
, 4E351GG20
, 5E062DD04
, 5E070AA01
, 5E070AB02
, 5E070CB01
