特許

J-GLOBAL ID：201503049968617968

印刷による化学機械研磨パッド

発明者： バジャージ, ラジーブ ,  チン, バリー リー ,  リー, テランス ワイ.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-508994
公開番号（公開出願番号）：特表2015-517922
出願日： 2013年04月05日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

研磨パッドの研磨層を製造する方法は、3Dプリンタを用いて複数の層を連続して堆積させることを含み、複数の研磨層の各層は、パッド材料の前駆体をノズルから噴射し、パッド材料の前駆体を凝固させて、凝固させたパッド材料を形成することによって堆積される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

研磨パッドの研磨層を製造する方法であって、 3Dプリンタを用いて複数の層を連続して堆積させることを含み、前記複数の研磨層の各層が、パッド材料の前駆体をノズルから噴射し、前記パッド材料の前駆体を凝固させて、凝固させたパッド材料を形成することによって堆積される、方法。

IPC (1件)：

B24B 37/11

FI (1件)：

B24B37/00 C

Fターム (25件)：

3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CB01 ,  3C158DA02 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB05 ,  3C158EB09 ,  3C158EB10 ,  3C158EB22 ,  3C158EB28 ,  3C158ED10 ,  3C158ED11 ,  3C158ED12 ,  3C158ED13 ,  5F057AA02 ,  5F057AA24 ,  5F057BA15 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB06 ,  5F057EB10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研磨品を製造する急速工作システム及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-557079   出願人：サンーゴバンアブレイシブズ,インコーポレイティド
• 切割研磨シートとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-263247   出願人：龍治國
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-216427   出願人：ジェイエスアール株式会社
• CMP用のカスタマイズされた研磨パッド、ならびにその製造方法および使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-556409   出願人：ネオパッドテクノロジーズコーポレイション