ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-174073
公開番号（公開出願番号）：特開2015-043260
出願日： 2013年08月26日
公開日（公表日）： 2015年03月05日
要約：

【課題】本発明は、駆動機構にて生ずる熱の試料への伝達を効果的に抑制するステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、テーブル(1)と、テーブルを所定の方向に駆動する駆動源(3、4)を備えたステージ装置であって、テーブルと前記駆動源との間に設けられる第1の接続部材(7)と、テーブルと前記駆動源との間であって、第1の部材より駆動源側に設けられる第2の接続部材(8)と、第2の接続部材に支持されるスライドユニット(16a)と、スライドユニットを所定の方向に案内するレール(11a)を備え、第1の接続部材は前記第2の接続部材に対して相対的に熱伝導率が低い部材が用いられるステージ装置、及び荷電粒子線装置を提案する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料が載置されるテーブルと、当該テーブルを所定の方向に駆動する駆動源を備えたステージ装置において、前記テーブルと前記駆動源との間に設けられる第1の接続部材と、前記テーブルと前記駆動源との間であって、前記第1の部材より前記駆動源側に設けられる第2の接続部材と、当該第2の接続部材或いは当該第2の接続部材に支持される被支持部材に支持されるスライドユニットと、当該スライドユニットを前記所定の方向に案内するレールを備え、前記第1の接続部材は前記第2の接続部材に対して相対的に熱伝導率が低い部材が用いられることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , H01J 37/28 , H02K 41/02

FI (3件)：

H01J37/20 D , H01J37/28 B , H02K41/02 C

Fターム (10件)：

5C001AA03 , 5C001CC04 , 5C001CC06 , 5C001CC08 , 5C001DD02 , 5C033UU03 , 5C033UU10 , 5H641GG03 , 5H641HH02 , 5H641JA02

引用特許：

出願人引用 (4件)

XYステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-001932 出願人：日本精工株式会社
真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-204826 出願人：シンフォニアテクノロジー株式会社
駆動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-284140 出願人：THK株式会社

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審査官引用 (4件)

XYステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-001932 出願人：日本精工株式会社
真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-204826 出願人：シンフォニアテクノロジー株式会社
駆動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-284140 出願人：THK株式会社

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