特許

J-GLOBAL ID：201503062932063636

表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置

発明者： 鈴木 拓 ,  菱田 俊一
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-154298
公開番号（公開出願番号）：特開2015-025592
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：

【課題】本発明は、10-10Torr以下の超高真空中、7.2K未満に冷却可能であり、その環境で、装置外から様々なビームを試料の表面に照射し、前記表面からの反射ビームや放出ビームを装置外で測定可能であり、かつ、真空を破らず、試料の交換が可能である表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置を提供することを課題とする。【解決手段】筒状の熱シールドと、前記筒内に配置された伝熱棒と、伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、熱シールドに設けられた開閉部と、前記開閉部に設けられた2つのビーム孔と、を有する表面観測用試料冷却装置を用いることによって前記課題を解決できる。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

筒状の熱シールドと、 前記筒内に配置された伝熱棒と、 前記伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、 前記高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、 前記熱シールドに設けられた開閉部と、 前記開閉部に設けられた2つのビーム孔と、を有することを特徴とする表面観測用試料冷却装置。

IPC (3件)：

F25B 9/14 ,  H01J 37/20 ,  G01N 23/225

FI (3件)：

F25B9/14 530Z ,  H01J37/20 E ,  G01N23/225

Fターム (13件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA14 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001GA01 ,  2G001GA16 ,  2G001KA01 ,  2G001QA01 ,  2G001QA02 ,  5C001AA01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 試料冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-312435   出願人：日本電子株式会社
• 荷電粒子線露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-167606   出願人：株式会社ニコン
• 試料冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-101158   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所