特許
J-GLOBAL ID：201503063953953468
ナノクラスター生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
小西 富雅
, 中村 知公
, 木村 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-112995
公開番号（公開出願番号）：特開2015-045031
出願日： 2013年05月29日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
要約：
【課題】ナノクラスター生成装置において、ナノクラスターのサイズ制御及び構造制御を向上させる。また、サイズ及び構造の少なくとも一方が選択されたナノクラスターの収量および収率を増大させる。【解決手段】ナノクラスター生成装置10は、真空容器11と、パルス放電を行い、プラズマを発生させるスパッタ源13と、スパッタ源13に対し、パルス状の電力を供給するパルス電源16と、スパッタ源13に対し第1の不活性ガスを供給する第1不活性ガス供給手段17と、真空容器11内に収容されるナノクラスター成長セル12と、ナノクラスター成長セル12内に第2の不活性ガスを導入する第2不活性ガス導入手段18と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空容器と、
パルス放電を行い、プラズマを発生させるスパッタ源と、
前記スパッタ源に対し、パルス状の電力を供給するパルス電源と、
前記スパッタ源に対し、第1の不活性ガスを供給する第1不活性ガス供給手段と、
前記真空容器内に収容されるナノクラスター成長セルと、
前記ナノクラスター成長セル内に第2の不活性ガスを導入する第2不活性ガス導入手段と、を備えるナノクラスター生成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4K029BA04
, 4K029CA03
, 4K029DA03
, 4K029DA12
, 4K029DD03
, 4K029EA04
, 4K029EA09
