特許
J-GLOBAL ID:201503065206073176

磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 森 哲也 ,  小西 恵 ,  田中 秀▲てつ▼
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-126690
公開番号(公開出願番号):特開2015-001467
出願日: 2013年06月17日
公開日(公表日): 2015年01月05日
要約:
【課題】周囲の温度の影響を最小限に抑え、かつ、それぞれの磁場方向の感度を自由に調整することが可能で、チップサイズの増大を招くことなく多軸の磁場検知を可能とした磁気センサを提供すること。【解決手段】第1の検知部における第1の感磁部11aが、磁気収束部21に覆われ、第2の感磁部12aが、基板平面上で前記第1の感磁部11aに併設されて、第1の感磁部11aと第2の感磁部12aとの間において、第2の検知部2における第1及び第3の磁気収束部21,23が、第2の磁気収束部22の長手方向の仮想中線に対して線対称となるように配置され、第2の感磁部12aに隣接して第3の検知部3における第7及び第8の感磁部15a,16aの間隙を覆うように第4の磁気収束部24が配置されている。【選択図】図12
請求項(抜粋):
基板平面に対して任意の軸方向の磁場を検知できるようにした磁気センサにおいて、 前記基板平面に対して平行な第1の軸方向の磁場を検知するために、前記第1の軸方向に感磁軸を有し、前記第1の軸方向の磁場に対する感度が異なる第1及び第2の感磁部又は前記第1の軸方向の磁場に対する感磁軸が反平行である第3及び第4の感磁部からなる第1の検知部と、 前記基板平面に対して平行かつ前記第1の軸方向に垂直な第2の軸方向の磁場を検知するために、前記第1の軸方向に感磁軸を有し、前記第1の軸方向の磁場に対する感度が等しい第5及び第6の感磁部と、該第5及び第6の感磁部の近傍に配置されて磁路を形成する第1乃至第3の磁気収束部からなる第2の検知部と、 前記基板平面に対して垂直な第3の軸方向の磁場を検知するために、前記第1の軸方向に感磁軸を有し、前記第1の軸方向の磁場に対する感度が等しい第7及び第8の感磁部と、該第7及び第8の感磁部の近傍に配置されて磁路を形成する第4の磁気収束部又は前記第4及び第5の磁気収束部からなる第3の検知部と を備えていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件):
G01R 33/09 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/08 ,  G01R 33/02
FI (4件):
G01R33/06 R ,  H01L43/06 Z ,  H01L43/08 Z ,  G01R33/02 L
Fターム (18件):
2G017AA01 ,  2G017AA10 ,  2G017AB05 ,  2G017AC07 ,  2G017AD55 ,  2G017AD63 ,  2G017AD64 ,  2G017BA05 ,  5F092AA08 ,  5F092AB01 ,  5F092AC02 ,  5F092AC05 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AC14 ,  5F092AD08 ,  5F092BB31 ,  5F092FA08
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 磁気センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2010-279241   出願人:アルプス電気株式会社
  • 磁気センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2010-259846   出願人:アルプス電気株式会社
  • 磁気センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-263630   出願人:ヤマハ株式会社
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