特許
J-GLOBAL ID：201503070720668131

検査装置

発明者：
金子 周矢

金子 周矢 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-223114
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087114
出願日： 2013年10月28日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】異物由来の欠陥と遮光膜由来の欠陥の判定を正確に且つ短時間で行って、歩留まりの低下や納期遅れ等の問題を解消することができる検査装置ならびに検査方法を提供すること。【解決手段】フォトマスクの欠陥を検出する検査装置19であって、必ず実施する光を用いた光学系に基づく検査手段1と前記の検査手段が欠陥を検出した時に実施する電子線を用いた光学系に基づく検査手段9を備えてなり、前記光を用いた光学系に基づく検査手段と電子線を用いた光学系に基づく検査手段が自動で切り替わる手段と、前記光を用いた光学系に基づく検査手段が検出した欠陥の座標を、前記電子線を用いた光学系に基づく検査手段に伝達する手段と、を備えていることを特徴とする検査装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フォトマスクの欠陥を検出する検査装置であって、必ず実施する光を用いた光学系に基づく検査手段と前記の検査手段で欠陥が検出された時に実施する電子線を用いた光学系に基づく検査手段を備えてなり、前記光を用いた光学系に基づく検査手段と電子線を用いた光学系に基づく検査手段が自動で切り替わる手段と、前記光を用いた光学系に基づく検査手段が検出した欠陥の座標を、前記電子線を用いた光学系に基づく検査手段に伝達する手段と、を備えていることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01N 23/225 ,  G03F 1/84
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01N23/225 ,  G03F1/84
Fターム (34件)：
2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001FA02 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA11 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051BA10 ,  2G051BC05 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB03 ,  2G051DA05 ,  2G051EA14 ,  2H095BD04 ,  2H095BD05 ,  2H095BD13 ,  2H095BD14 ,  2H095BD22 ,  2H195BD04 ,  2H195BD05 ,  2H195BD13 ,  2H195BD14 ,  2H195BD22
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (12件)
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