特許
J-GLOBAL ID:201503078481577472

レーザ超音波検査装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-220381
公開番号(公開出願番号):特開2015-081858
出願日: 2013年10月23日
公開日(公表日): 2015年04月27日
要約:
【課題】欠陥サイズ及び位置を確実に評価することが可能なレーザ超音波検査装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、レーザ超音波検査装置は、検査対象に送信レーザ光2を照射して超音波を励起させるための送信レーザ光源1と、検査対象に励起された超音波を受信するために受信レーザ光5を検査対象に照射する受信レーザ光源4と、受信レーザ光5を干渉計測して超音波信号を得る受信干渉計7と、予め記憶しておいた横波の指向角度を用いて超音波信号から横波の超音波信号を解析して検査対象の内部欠陥のサイズ及び位置を同定する解析装置9と、解析装置9から得られた検査対象の内部欠陥のデータを表示する表示装置10と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検査対象に送信レーザ光を照射して超音波を励起させるための送信レーザ光源と、 前記検査対象に励起された超音波を受信するために受信レーザ光を前記検査対象に照射する受信レーザ光源と、 前記受信レーザ光を干渉計測して超音波信号を得る受信干渉計と、 予め記憶しておいた横波の指向角度を用いて前記超音波信号から前記横波の超音波信号を解析して前記検査対象の内部欠陥のサイズ及び位置を同定する解析装置と、 前記解析装置から得られた前記検査対象の内部欠陥のデータを表示する表示装置と、 を備えることを特徴とするレーザ超音波検査装置。
IPC (1件):
G01N 29/00
FI (1件):
G01N29/00 501
Fターム (9件):
2G047AA06 ,  2G047AB04 ,  2G047AB07 ,  2G047BA03 ,  2G047BC03 ,  2G047CA04 ,  2G047CA07 ,  2G047CB02 ,  2G047EA05
引用特許:
審査官引用 (6件)
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