シリコンドリフト型X線検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-100981
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210376
特許番号：特許第5696176号
出願日： 2013年05月13日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料から発生する特性X線を分光検出することにより該試料の分析を行なう電子線装置に装着されるエネルギー分散型X線分光器に用いられるX線検出器であって、 X線を検出するための固体半導体からなるX線検出素子と、前記X線検出素子にとりつけられ、前記X線検出素子を外部回路と電気接続するための接続端子を備えた電極端子板と、前記電極端子板を介して熱的に接続して前記X線検出素子を冷却するペルチェ素子とからなるシリコンドリフト型X線検出器において、前記電極端子板と前記ペルチェ素子との間に熱伝導体を備え、前記熱伝導体の長さは、前記ペルチェ素子が発生する磁場が前記電子線装置の電子線に影響を及ぼさないように前記ペルチェ素子を前記X線検出素子から遠ざけておくのに必要な距離に基づいて定められ、前記熱伝導体の前記X線検出素子側に開口端を持つ有底の空洞をさらに備えたことを特徴とするシリコンドリフト型X線検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/24 ( 200 6.01) , H01J 37/244 ( 200 6.01) , G01N 23/225 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01T 1/24 , H01J 37/244 , G01N 23/225

引用特許：

出願人引用 (5件)

X線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128225 出願人：日本電子株式会社, 日本電子エンジニアリング株式会社
検出器ペルチエ冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308851 出願人：日本電子株式会社
X線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-371278 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (5件)

X線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128225 出願人：日本電子株式会社, 日本電子エンジニアリング株式会社
検出器ペルチエ冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308851 出願人：日本電子株式会社
X線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-371278 出願人：株式会社日立製作所

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