特許
J-GLOBAL ID：201503095400678450

超純水製造システム及び超純水製造方法

発明者：
野口 幸男

野口 幸男 について

, 
天谷 徹

天谷 徹 について


出願人/特許権者：
野村マイクロ・サイエンス株式会社

野村マイクロ・サイエンス株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242185
公開番号（公開出願番号）：特開2015-100733
出願日： 2013年11月22日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：
【課題】TOC濃度、とりわけ尿素濃度の極めて低減された超純水を、少ない薬品使用量で、かつ高い水回収率で製造することのできる超純水製造システム及び超純水製造方法を提供する。【解決手段】一次純水システムは、原水中の色度成分を除去する色度除去装置と、色度の除去された色度除去水中のアルカリ土類金属を除去する陽イオン交換装置と、陽イオン交換処理された陽イオン交換処理水中の溶存炭酸を除去する脱炭酸装置と、脱炭酸処理された処理対象水中の尿素を酸化分解する尿素分解装置と、尿素の酸化分解された尿素分解水を逆浸透膜処理する逆浸透膜装置とを備え、尿素分解装置は、尿素分解装置にアルカリ剤を供給して前記処理対象水のpHを9以上に調節するアルカリ剤供給装置と、尿素分解装置に次亜臭素酸を添加する次亜臭素酸供給装置と備える超純水製造システム。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
原水を、一次純水システム及び二次純水システムで処理して超純水を製造する超純水製造システムであって、 前記一次純水システムは、 前記原水中の色度成分を除去する色度除去装置と、 色度の除去された色度除去水中のアルカリ土類金属を除去する陽イオン交換装置と、 陽イオン交換処理された陽イオン交換処理水中の溶存炭酸を除去する脱炭酸装置と、 前記脱炭酸処理された処理対象水中の尿素を酸化分解する尿素分解装置と、 尿素の酸化分解された尿素分解水を逆浸透膜処理する逆浸透膜装置とを備え、 前記尿素分解装置は、 尿素分解装置にアルカリ剤を供給して前記処理対象水のpHを9以上に調節するアルカリ剤供給装置と、 前記尿素分解装置に次亜臭素酸を添加する次亜臭素酸供給装置と を備えることを特徴とする超純水製造システム。
IPC (7件)：
C02F 1/76 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/44 ,  B01D 61/04 ,  C02F 9/00
FI (17件)：
C02F1/76 Z ,  C02F1/28 F ,  C02F1/42 A ,  C02F1/20 A ,  C02F1/44 J ,  B01D61/04 ,  C02F9/00 502J ,  C02F9/00 502Z ,  C02F9/00 502R ,  C02F9/00 502F ,  C02F9/00 502H ,  C02F9/00 502E ,  C02F9/00 502N ,  C02F9/00 502G ,  C02F9/00 503A ,  C02F9/00 504B ,  C02F9/00 504D
Fターム (94件)：
4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006HA21 ,  4D006HA41 ,  4D006HA61 ,  4D006JA53Z ,  4D006KA01 ,  4D006KA52 ,  4D006KA53 ,  4D006KA55 ,  4D006KA56 ,  4D006KA57 ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KB12 ,  4D006KB15 ,  4D006KB17 ,  4D006KB30 ,  4D006KE06Q ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA06 ,  4D006MA25 ,  4D006MC18 ,  4D006MC54 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PB04 ,  4D006PB05 ,  4D006PB06 ,  4D006PC02 ,  4D025AA04 ,  4D025AB09 ,  4D025AB19 ,  4D025BA09 ,  4D025BA10 ,  4D025BB02 ,  4D025BB03 ,  4D025BB04 ,  4D025DA01 ,  4D025DA03 ,  4D025DA04 ,  4D025DA05 ,  4D025DA10 ,  4D037AA03 ,  4D037AB11 ,  4D037BA23 ,  4D037BB07 ,  4D037CA01 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03 ,  4D037CA11 ,  4D037CA14 ,  4D037CA15 ,  4D050AA05 ,  4D050AB03 ,  4D050AB34 ,  4D050AB44 ,  4D050BA06 ,  4D050BA07 ,  4D050BA09 ,  4D050BA12 ,  4D050BB03 ,  4D050BB06 ,  4D050BD02 ,  4D050BD03 ,  4D050BD04 ,  4D050BD06 ,  4D050BD08 ,  4D050CA03 ,  4D050CA06 ,  4D050CA07 ,  4D050CA08 ,  4D050CA09 ,  4D050CA13 ,  4D050CA15 ,  4D050CA20 ,  4D624AA03 ,  4D624AB04 ,  4D624BA02 ,  4D624CA01 ,  4D624DB01 ,  4D624DB03 ,  4D624DB04 ,  4D624DB05 ,  4D624DB10 ,  4D624DB19 ,  4D624DB20 ,  4D624DB30
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 超純水製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-088523   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
  • 次亜臭素酸塩による水処理
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-513704   出願人：クリストウォーターテクノロジーアクチェンゲゼルシャフト
  • 超純水製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-196558   出願人：栗田工業株式会社
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審査官引用 (2件)
  • 超純水製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-088523   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
  • 次亜臭素酸塩による水処理
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-513704   出願人：クリストウォーターテクノロジーアクチェンゲゼルシャフト

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