X線測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-012229
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079011
出願日： 2015年01月26日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：

【課題】持ち運びが可能なために測定に際して手振れ、振動等の影響を受け易いX線測定装置でありながら、正確で安定した信頼性の高い測定データを得ることができるX線測定装置を提供する。【解決手段】可搬型、例えばハンドヘルドタイプのX線測定装置1において、X線測定装置1の振動や手振れを距離センサ、ジャイロセンサ等といった振動量検知センサ12によって検知し、2次元X線検出器8を用いて得たX線強度の測定値を振動量検知センサ12を用いて得た変動量に基づいて補正する。この補正は、X線源Fに関する補正や、X線検出器8に関する補正や、コンピュータ13のCPU及びプログラムソフトを用いた演算による補正、等とすることができる。変動量を補償するための測定条件値が過剰に大きいときにサンプリングされたX線強度は積算に含めない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物に入射するX線を発生するX線源と、前記測定対象物から出たX線を検出するX線検出手段と、前記X線源及び前記X線検出手段を収容したハウジングと、を有するX線測定装置において、前記ハウジングの振動量を検知する振動量検知センサと、前記X線源、前記X線検出手段及び前記振動量検知センサを制御する制御手段と、を有しており、前記制御手段は、サンプリング時間ごとに前記X線検出手段によってX線強度を求め、求められたX線強度を積算し、サンプリング時間ごとに前記振動量検知センサによって振動量を検知し、その振動量に基づいて前記ハウジングの前記測定対象物に対する位置の変動量(δ(t))を求め、その変動量に基づいてその変動量を補償するための測定条件値を求め、前記X線検出手段を用いて得られる測定値を補正するための処理を前記測定条件値に基づいて行い、前記測定条件値のいずれか1つが補償できない程に大きく変動したときには、対応するX線強度を前記の積算に含めない、ことを特徴とするX線測定装置。

IPC (1件)：

G01N 23/22

FI (1件)：

G01N23/22

Fターム (5件)：

2G001AA01 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001FA08 , 2G001SA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

エックス線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-359017 出願人：理研計器株式会社
分析装置および透過電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-097203 出願人：キヤノン株式会社
特開昭59-077308

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