特許
J-GLOBAL ID：201503099364193296
計測装置および計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-042774
公開番号（公開出願番号）：特開2011-179891
特許番号：特許第5646861号
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対象面に向かって光ビームを投射する投射部と、
前記対象面で反射された前記光ビームを受光して前記対象面の局所的な傾斜により局所的形状を特定する特定部と、
前記光ビームの投射角度を維持しつつ前記光ビームを並進させる並進部と、
前記光ビームの並進に伴って前記特定部が順次特定する前記局所的形状を蓄積して、前記対象面の連続的形状を算出する算出部と、
前記光ビームの投射角度を変更する変更部と、
前記変更部が前記投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、前記特定部に、前記第一角度による前記対象面への投射位置に前記第二角度により前記光ビームを投射させ、且つ、当該投射位置における局所的形状を再び特定させる制御部と
を備え、前記対象面の形状を計測する計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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