特許
J-GLOBAL ID：201503099950229887
ワーク表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野本 陽一
, 桐山 大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122575
公開番号（公開出願番号）：特開2014-240763
出願日： 2013年06月11日
公開日（公表日）： 2014年12月25日
要約：
【課題】画像データからノイズを除去することにより検出精度の向上を図る。【解決手段】相対的に小さい入射角度かつ高い照度でワークWを照明する第一光源1と、相対的に大きい入射角度かつ低い照度でワークWを照明する第二光源2と、第一光源1で照明しながらワークWを撮像したグレースケールの第一画像データP1及び第二光源2で照明しながらワークWを撮像したグレースケールの第二画像データP2を出力する撮像装置4と、第一及び第二画像データP1,P2を、その互いに対応する座標の画素毎に、次式により論理演算を実行する演算手段を備える。(px1-px2)/2+基準輝度 ここで、 px1:第一画像データP1の画素の輝度 px2:第二画像データP2の画素の輝度【選択図】図1
請求項（抜粋）：
相対的に小さい入射角度かつ相対的に高い照度でワークを照明する第一光源と、相対的に大きい入射角度かつ相対的に低い照度でワークを照明する第二光源と、前記第一光源で照明しながら前記ワークを撮像したグレースケールの第一画像データ及び前記第二光源で照明しながら前記ワークを撮像したグレースケールの第二画像データを出力する撮像装置と、前記第一及び第二画像データを、その互いに対応する座標の画素毎に、次式;
(px1-px2)/2+基準輝度
ここで、
px1:第一画像データの画素の輝度
px2:第二画像データの画素の輝度
により論理演算を実行する演算手段を備えることを特徴とするワーク表面欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G051AA07
, 2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BB05
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051EA16
, 2G051EA23
, 2G051EB05
, 2G051EB09
