文献

J-GLOBAL ID：201602245506890188   整理番号：16A0896434

効率的なダイヤモンドの成長のためのマイクロ波プラズマの短パルス励起

Short-pulse excitation of microwave plasma for efficient diamond growth

著者 (3件)： Yamada Hideaki (Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Chayahara Akiyoshi (Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan) ,  Mokuno Yoshiaki (Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 109  号： 9  ページ： 092102-092102-5  発行年： 2016年08月29日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *プラズマCVD ,  プラズマ ,  パルス変調 ,  マイクロ波 ,  単結晶 ,  結晶成長 ,  マイクロ波プラズマ ,  *鉱石 ,  *宝石

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  成長 ,  マイクロ波プラズマ ,  パルス ,  励起