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J-GLOBAL ID：201602245934964986   整理番号：16A0607632

メガ電子ボルトエネルギーイオンプローブを使った雰囲気SIMSの開発

Development of ambient SIMS using mega-electron-volt-energy ion probe

著者 (5件)： Kusakari Masakazu (Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan) ,  Fujii Makiko (Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan) ,  Seki Toshio (Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan) ,  Aoki Takaaki (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Nishikyo, 615-8510 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan) ,  Matsuo Jiro (Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 34  号： 3  ページ： 03H111-03H111-4  発行年： 2016年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 重いメガ電子ボルト(MeVの)エネルギー範囲にあるイオンプローブを使った新しい二次イオン質量分析装置を,周囲条件下で高感度に大きな完全な分子を検出するため開発した。この装置は,MeV級エネルギーの重イオンによって誘起される特性,即ち,表面近傍領域に誘起される電子励起と,周囲条件下で高い透過能力により誘導される特性に基づく。ガスから化学的不純物は電場を用いて除去したのに対し,二次イオンは効率良く電場と雰囲気ガスの流れによって質量分析器に輸送される。また,この新しい雰囲気分析手法は,固体試料だけでなく,高度な真空下で蒸発した液体試料も評価できる。本研究では,液体水と安息香酸溶液の試料を周囲条件下で測定しました(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *質量分析計 ,  MeV領域 ,  重イオン ,  液体 ,  水 ,  質量スペクトル ,  液体水 ,  芳香族カルボン酸

分類 (1件)： 質量分析計  (BD02060M)

物質索引 (1件)： 安息香酸

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子ボルト ,  エネルギー ,  イオンプローブ ,  雰囲気 ,  SIMS ,  開発