特許
J-GLOBAL ID:201603000424027015

チタン叉はチタン合金表面への二酸化チタン光触媒製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原崎 正
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-207811
公開番号(公開出願番号):特開2014-061479
特許番号:特許第6004530号
出願日: 2012年09月21日
公開日(公表日): 2014年04月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】真空容器内に純チタン叉はチタン合金の基板を絶縁固定し、真空容器内に炭素イオンの原料ガスとしてメタンガスを導入すると同時に減圧状態に維持してプラズマを生成し、基板に負電位のパルス電圧を繰り返し印加することによってプラズマ中の正イオンを基板に吸引加速し、上記基板表面に炭素イオンを注入してその表面改質を行って表面を非晶質化した後、これを400〜650°Cの範囲内で加熱して酸化し、非晶質化した純チタン叉はチタン合金の基板表面をアナターゼ型二酸化チタンに結晶化させたことを特徴とするチタン叉はチタン合金表面への二酸化チタン光触媒製法。
IPC (6件):
B01J 35/02 ( 200 6.01) ,  B01J 21/06 ( 200 6.01) ,  B01J 23/20 ( 200 6.01) ,  B01J 37/34 ( 200 6.01) ,  C23C 14/48 ( 200 6.01) ,  C22C 14/00 ( 200 6.01)
FI (6件):
B01J 35/02 J ,  B01J 21/06 M ,  B01J 23/20 M ,  B01J 37/34 ,  C23C 14/48 Z ,  C22C 14/00 Z
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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