特許
J-GLOBAL ID：201603000466582973

ワーク搬送装置

発明者：
小菅 隆一

小菅 隆一 について

, 
西田 弘明

西田 弘明 について

, 
曽根 忠一

曽根 忠一 について

, 
相澤 英夫

相澤 英夫 について

, 
田中 智裕

田中 智裕 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  宮前 徹 ,  山崎 幸作 ,  鐘ヶ江 幸男 ,  串田 幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-166701
公開番号（公開出願番号）：特開2014-024161
特許番号：特許第6013824号
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板層および前記基板層の一部の上に被加工層を備えるワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、前記ワーク搬送装置は、 前記ワークを把持および解放するように動作するように構成されるワーク把持機構を有し、前記ワーク把持機構は、前記被加工層が前記基板層の下に位置する状態で前記ワークの前記基板層を把持するように構成され、前記ワーク把持機構は、 把持されるワークの径方向内側から外側に向かって次第に高くなる第1傾斜面と、 把持されるワークの径方向外側から内側に向かって次第に高くなる第2傾斜面と、 前記第1傾斜面と前記第2傾斜面との間に位置し、ワークの基板層を把持するための接触面と、を有し、 前記ワークの基板層が前記接触面により把持されるときに、前記第2傾斜面と前記ワークの前記被加工層との間に所定の距離Rまたはそれ以上の大きさのクリアランスが存在するように構成される、ワーク搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 15/08 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B25J 15/08 P ,  H01L 21/68 S ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 F
引用特許：
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM