特許
J-GLOBAL ID：201603000743627610
研磨装置および研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-014627
公開番号（公開出願番号）：特開2016-137553
出願日： 2015年01月28日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：
【課題】多くの制約なく容易にかつ安価に非磁性材料からなる研磨対象物を研磨することができる新規な研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、研磨ツール10と、研磨ツール10に塗布された研磨剤20とを備える。研磨剤20は、磁性材料からなる複数の球体21と、複数の球体21の各々の表面に被膜状に付着してなる液状バインダ22と、液状バインダ22によって複数の球体21の各々の表面上において分散された状態で保持された非磁性材料からなる複数の砥粒23とを含む。研磨ツール10の表面近傍には、研磨ツール10の表面の一部から出て研磨ツール10の表面の他の一部に戻るように磁場が生成され、当該磁場によって複数の球体21が研磨ツール10に磁着されることで研磨剤20中に磁性クラスタが形成される。研磨中にいても、当該磁場のみによって磁性クラスタが形成された状態が維持される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
非磁性材料からなる研磨対象物を研磨するための研磨装置であって、
研磨対象物に対して相対運動可能な研磨ツールと、
前記研磨ツールに塗布された研磨剤とを備え、
前記研磨剤は、磁性材料からなる複数の球体と、前記複数の球体の各々の表面に被膜状に付着してなる液状バインダと、前記液状バインダによって前記複数の球体の各々の表面上において分散された状態で保持された非磁性材料からなる複数の砥粒とを含み、
前記研磨ツールの表面近傍には、前記研磨ツールの表面の一部から出て前記研磨ツールの表面の他の一部に戻るように前記研磨ツールに一対の磁極が形成されることで磁場が生成され、当該磁場によって前記複数の球体が前記研磨ツールに磁着されることで前記研磨剤中に磁性クラスタが形成され、
前記研磨剤を前記研磨ツールによって研磨対象物に押圧しつつ前記研磨ツールを研磨対象物に対して相対運動させることで研磨対象物を研磨するに際し、前記磁場のみによって前記磁性クラスタが形成された状態が維持される、研磨装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B24B37/00 D
, C09K3/14 550C
, C09K3/14 550D
, C09K3/14 550G
3C158AA07
, 3C158AA09
, 3C158CA04
, 3C158CB01
, 3C158CB05
, 3C158CB07
, 3C158CB10
, 3C158DA02
, 3C158DA11
, 3C158ED02
, 3C158ED12
