特許
J-GLOBAL ID：201603000964063975

レジスト組成物及びパターン形成方法

発明者：
藤原 敬之

藤原 敬之 について

, 
提箸 正義

提箸 正義 について

, 
長谷川 幸士

長谷川 幸士 について

, 
及川 健一

及川 健一 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (5件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史 ,  正木 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-162487
公開番号（公開出願番号）：特開2016-057614
出願日： 2015年08月20日
公開日（公表日）： 2016年04月21日
要約：
【課題】有機溶剤現像において溶解コントラスト、MEF性能、寸法安定性性能などの諸特性に優れた性能を有するレジスト組成物、このレジスト組成物を用いたパターン形成方法及び高分子化合物を提供する。【解決手段】一般式(1)で表される繰り返し単位と、一般式(2A)、(2B)又は(2C)で表される繰り返し単位のうち少なくとも1つを含む高分子化合物を含有するレジスト組成物。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で表される繰り返し単位と、下記一般式(2A)、(2B)又は(2C)で表される繰り返し単位のうち少なくとも1つを含む高分子化合物を含有することを特徴とするレジスト組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/20 ,  C08F 220/28
FI (6件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/32 ,  G03F7/20 521 ,  C08F220/28
Fターム (117件)：
2H125AF11P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF34P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF70P ,  2H125AH01 ,  2H125AH14 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH20 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ18X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM27P ,  2H125AM91P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125AP02N ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  2H196AA25 ,  2H196BA06 ,  2H196EA05 ,  2H196EA06 ,  2H196EA07 ,  2H196GA03 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197HA03 ,  2H225AF11P ,  2H225AF24P ,  2H225AF33P ,  2H225AF35P ,  2H225AF48P ,  2H225AF53P ,  2H225AF68P ,  2H225AF69P ,  2H225AF70P ,  2H225AF71P ,  2H225AF99P ,  2H225AH01 ,  2H225AH14 ,  2H225AH16 ,  2H225AH17 ,  2H225AH19 ,  2H225AH20 ,  2H225AH38 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ18 ,  2H225AJ53 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ58 ,  2H225AJ59 ,  2H225AM22P ,  2H225AM27P ,  2H225AM91P ,  2H225AM94P ,  2H225AM99P ,  2H225AN38P ,  2H225AN39P ,  2H225AN51P ,  2H225AN54P ,  2H225AN86P ,  2H225AN88P ,  2H225AP02N ,  2H225BA01P ,  2H225BA02P ,  2H225BA26P ,  2H225CA12 ,  2H225CB09 ,  2H225CB10 ,  2H225CC01 ,  2H225CC15 ,  2H225CD05 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100BC43P ,  4J100BC49P ,  4J100BC53P ,  4J100CA03 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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