特許
J-GLOBAL ID:201603001075908064
電極/電解液界面試料の作製方法および電位分布のその場観察方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
水野 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-214131
公開番号(公開出願番号):特開2016-080604
出願日: 2014年10月21日
公開日(公表日): 2016年05月16日
要約:
【課題】電解液を有する電気素子を動作状態で観察するその場観察のための試料作製方法を提供する。【解決手段】電子線を照射して電解液を有する電気素子を動作状態で観察するその場観察のための試料を作製するため、電子線の進行方向の孔916が形成された電極体910と、電極部924とセパレータ930とを有する対電極体を準備する。この対電極体は、孔916から電子線の進行方向とは異なる方向に離れた接触位置において、セパレータ930を電極体910に接触させることが可能なように構成されている。次いで、孔に電解液940が保持されるとともに、孔916から接触位置まで電解液940が連続するように電解液940を電極体910に付着させ、セパレータ930を接触位置に接触させる。これにより、セパレータ930を介して電極部924が電解液940に接触し、その場観察が可能な試料が作製される。【選択図】図3
請求項(抜粋):
電解液を有する電気素子を動作状態で観察する電子線照射によるその場観察のための試料の作製方法であって、
前記電子線の進行方向の孔が形成された電極体を準備し、
電極部とセパレータとを有し、前記孔から前記電子線の進行方向とは異なる方向に離れた接触位置において、前記セパレータを前記電極体に接触させることが可能なように構成された対電極体を準備し、
前記孔に前記電解液が保持されるとともに、前記孔から前記接触位置まで前記電解液が連続するように前記電解液を前記電極体に付着させ、
前記セパレータを前記接触位置に接触させることにより、前記セパレータを介して前記電極部を前記電解液に接触させる、
試料の作製方法。
IPC (5件):
G01N 1/28
, H01J 37/20
, H01J 37/317
, H01J 37/295
, G01N 27/00
FI (6件):
G01N1/28 G
, H01J37/20 Z
, H01J37/317 D
, H01J37/295
, G01N1/28 F
, G01N27/00 Z
Fターム (17件):
2G052CA03
, 2G052CA05
, 2G052EC18
, 2G052GA33
, 2G052GA34
, 2G052JA13
, 2G060AA06
, 2G060AA09
, 2G060AF06
, 2G060AF15
, 2G060AG11
, 2G060AG15
, 2G060EB07
, 5C001BB07
, 5C001CC01
, 5C001CC08
, 5C034DD09
引用特許:
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