特許
J-GLOBAL ID：201603001162505073
剥離装置、剥離システムおよび剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265402
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110388
特許番号：特許第6014477号
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち前記第1基板を保持する第1保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を保持し、該第2基板を前記第1基板の板面から離す方向へ移動させる第2保持部と、
前記第1保持部および前記第2保持部が配置される処理部の天井部に支持される上側ベース部と、
前記上側ベース部に支持され、前記第2基板が前記第1基板から剥がれるきっかけとなる部位を前記重合基板の側面に形成する剥離誘引部と
を備え、
前記第2保持部は、
前記上側ベース部に支持され、前記部位に対応する前記第2基板の周縁部を吸着し、該周縁部を前記第1基板の板面から離す方向へ移動させる第1吸着移動部と、
前記上側ベース部に支持され、前記周縁部よりも前記第2基板の中央部寄りの領域を吸着し、該領域を前記第1基板の板面から離す方向へ移動させる第2吸着移動部と
を備え、
前記第1吸着移動部は、
前記第2吸着移動部よりも吸着面積が小さいこと
を特徴とする剥離装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/02 B
, H01L 21/304 622 P
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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