特許
J-GLOBAL ID:201603001555313281
多光子励起型のテラヘルツ波発生素子及びテラヘルツ波検出素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
岡部 讓
, 吉澤 弘司
, 三山 勝巳
, ▲濱▼口 岳久
, 川崎 孝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-010222
公開番号(公開出願番号):特開2013-149846
特許番号:特許第5998489号
出願日: 2012年01月20日
公開日(公表日): 2013年08月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 多光子励起によりテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子であって、
入射される励起光に対して透明な基板と、
前記基板に前記励起光が入射される側とは反対側の前記基板の面上に設けられる光伝導膜と、
前記光伝導膜上に設けられ、ギャップを挟んで対向する2つの電極を有するアンテナと、
前記基板に前記励起光が入射される側に設けられ、前記励起光を前記ギャップに集光する集光部と、
前記アンテナ上に設けられ、前記ギャップにおいて発生されるテラヘルツ波を、前記基板に前記励起光が入射される側とは反対側に導くアンテナ側レンズと、
を備え、
前記アンテナは、前記光伝導膜および前記アンテナ側レンズのどちらか一方に設けられた溝に嵌合しているテラヘルツ波発生素子。
IPC (2件):
H01S 1/02 ( 200 6.01)
, H01L 31/0264 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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