特許
J-GLOBAL ID：201603001562352217

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明者：
大▲崎▼ 仁視

大▲崎▼ 仁視 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (7件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-201682
公開番号（公開出願番号）：特開2016-071207
出願日： 2014年09月30日
公開日（公表日）： 2016年05月09日
要約：
【課題】優れた焦点深度を発揮できる感放射線性樹脂組成物の提供する。【解決手段】式(1)で表される構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物。(式(1)中、R1は、水素原子又はメチル基である。Lは、ヘテロ原子を含む基で置換された環員数3〜20の脂環式炭化水素基又は脂肪族複素環基である。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される構造単位を有する重合体、 感放射線性酸発生体、及び 溶媒 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C08F 28/02
FI (4件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F28/02
Fターム (75件)：
2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN63P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  2H225AF24P ,  2H225AF52P ,  2H225AF53P ,  2H225AF54P ,  2H225AF56P ,  2H225AF67P ,  2H225AF68P ,  2H225AF70P ,  2H225AF99P ,  2H225AH19 ,  2H225AH38 ,  2H225AH49 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ53 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ82 ,  2H225AN39P ,  2H225AN42P ,  2H225AN51P ,  2H225AN54P ,  2H225AN63P ,  2H225AN88P ,  2H225BA02P ,  2H225BA26P ,  2H225CA12 ,  2H225CB09 ,  2H225CB10 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC15 ,  2H225CD05 ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AP01P ,  4J100BA03P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100BC83P ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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