特許
J-GLOBAL ID:201603002340614031
ポリキャピラリー光学素子およびX線回折装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
喜多 俊文
, 江口 裕之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-025581
公開番号(公開出願番号):特開2016-085232
出願日: 2016年02月15日
公開日(公表日): 2016年05月19日
要約:
【課題】X線回折装置の平行ビーム光学系において、Kβ線カット用フィルターやモノクロメータを用いることなくKβ線を除去するポリキャピラリーレンズを提供する。【解決手段】多数のポリキャピラリー2を円筒ハウジング3内に収容し、円筒ハウジング3の両端を、Kβ線を吸収する金属薄膜4、5で封止して円筒ハウジング3内を密閉状態に保持し、ポリキャピラリー2の一方側を、X線源(ターゲット11)に向けて所定の曲率半径で曲げて、X線源から出たX線を大きい立体角で取り込み、反対側の出口で平行ビームを得るとともに、円筒ハウジング3の両端の金属薄膜4、5でKβ線を除去するようにした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
多数のガラス製中空チューブを筒状ハウジング内に収容し、筒状ハウジングの両端を、X線を透過する金属薄膜で封止して筒状ハウジング内を密閉状態に保持するとともに、多数のガラス製中空チューブの一方側の外方に位置するX線源から放射されたX線を取り込み、反対側の出口で平行ビームを得るポリキャピラリー光学素子において、前記金属薄膜の一方または両方を、前記X線源から放射されたX線のKβ線を吸収する金属薄膜で形成したことを特徴とするポリキャピラリーレンズ。
IPC (3件):
G21K 1/06
, G01N 23/207
, G21K 1/02
FI (5件):
G21K1/06 C
, G01N23/207
, G21K1/02 R
, G21K1/02 C
, G21K1/06 S
Fターム (7件):
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001EA02
, 2G001EA06
, 2G001GA01
, 2G001GA13
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開昭62-044940
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X線発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-218986
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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X線集光素子及びX線集光方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-161402
出願人:理学電機株式会社
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X線分光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-178005
出願人:理学電機株式会社
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X線微小分析法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-038105
出願人:株式会社日立製作所
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面内分布測定方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-043946
出願人:株式会社日立製作所
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特許第6271534号
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