特許
J-GLOBAL ID:201603002864629303

ボール搭載装置およびボール搭載方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): アイアット国際特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-099188
公開番号(公開出願番号):特開2014-220405
特許番号:特許第5865294号
出願日: 2013年05月09日
公開日(公表日): 2014年11月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ステージに搭載されるワークの所定位置に転写ピンを用いてフラックスを転写するフラックス転写手段と、 前記所定位置に搭載ノズルを用いてボールを搭載するボール搭載手段と、 を有するボール搭載装置において、 前記フラックス転写手段は、 前記転写ピンを上下方向に移動させる転写ピン移動手段と、 前記転写ピン移動手段による前記転写ピンの移動量を測定する転写ピン移動量測定手段と、 前記転写ピンに上方に向けて付勢力が作用したときに、前記転写ピンが上方に移動できるように前記転写ピンを保持する転写ピン保持手段と、 前記転写ピンが前記付勢力により移動されたときの前記転写ピン保持手段に対する位置である付勢移動位置を測定する付勢移動位置測定手段と、 を有し、 前記ボール搭載手段は、 前記搭載ノズルを上下方向に移動させる搭載ノズル移動手段と、 前記搭載ノズル移動手段による前記搭載ノズルの移動量を測定する搭載ノズル移動量測定手段と、 を有し、 前記転写ピン移動手段および前記搭載ノズル移動手段により、前記転写ピンおよび前記搭載ノズルが所定の高さ位置に移動されたことを検出する位置検出手段と、 前記転写ピン移動量測定手段により測定される前記転写ピンの前記移動量と、前記搭載ノズル移動量測定手段により測定される前記搭載ノズルの前記移動量と、前記付勢移動位置測定手段により測定される前記転写ピンの前記付勢移動位置とに基づいて、前記ボール搭載手段により前記ボールを前記所定位置に搭載する際に必要な前記搭載ノズルの上下方向の移動量である搭載時移動量を制御する制御部と、 を有し、 前記制御部は、前記搭載ノズルの先端と前記ステージとの間の基準距離と、前記ボール搭載装置に入力された前記ワークの厚さとに基づいて算出される値である理想の搭載時移動量に対して補正を行うことで前記搭載時移動量を制御し、 前記制御部は、式(1)に基づき、前記理想の搭載時移動量に対する補正量を算出することを特徴とするボール搭載装置。 A=(B-C)-D+E ・・・ (1) A:補正量 B:転写ピンの先端と所定の高さ位置との間の基準距離と、搭載ノズルの先端と所定の高さ位置との間の基準距離との差 C:ボール搭載装置の校正時における転写ピンの先端と所定の高さ位置との間の距離と、搭載ノズルの先端と所定の高さ位置との間の距離との差 D:転写ピンの先端とステージとの間の基準距離と、ボール搭載装置の校正時における転写ピンの先端とステージとの間の距離との差 E:ボール搭載装置に入力された厚さのワークの搭載面の高さ方向の位置と、実際にステージに搭載されたワークの搭載面の高さ方向の位置との差
IPC (1件):
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/92 604 H
引用特許:
審査官引用 (3件)

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