特許
J-GLOBAL ID：201603003049895011
フォトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
天野 一規
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-515042
特許番号：特許第5967082号
出願日： 2012年04月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 [A]同一又は異なる重合体中に、下記式(1)で表される構造単位(I)、下記式(2)で表される酸解離性基含有構造単位(II)並びにラクトン基、環状カーボネート基及びスルトン基からなる群より選ばれる少なくとも1種の基(a)を有する重合体成分、並びに
[B]酸発生体
を含有するフォトレジスト組成物。
(式(1)中、R0は、水素原子、フッ素原子、水酸基又は炭素数1〜20の1価の有機基である。R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、水酸基若しくは炭素数1〜20の1価の有機基であるか、又はR1及びR2が互いに結合してそれらが結合している炭素原子と共に炭素数3〜10の環構造を形成している。aは、1〜6の整数である。但し、aが2以上の場合、複数のR1及びR2は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。R3及びR4は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、水酸基若しくは炭素数1〜20の1価の有機基であるか、又はR3及びR4が互いに結合してそれらが結合している炭素原子と共に炭素数3〜10の環構造を形成している。但し、上記環構造が有する水素原子の一部又は全部は置換されていてもよい。また、R0〜R4のうち少なくともひとつはヘテロ原子を含む基である。
式(2)中、R5は、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。R6及びR7は、それぞれ独立して、炭素数1〜4のアルキル基若しくは炭素数4〜20の脂環式基であるか、又はR6及びR7が互いに結合してそれらが結合している炭素原子と共に2価の脂環式基を形成している。R8は、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数4〜20の脂環式基である。上記アルキル基及び脂環式基が有する水素原子の一部又は全部は置換されていてもよい。)
IPC (2件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08F 224/00 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, C08F 224/00
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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