特許
J-GLOBAL ID：200903036332850768
化学増幅型のポジ型レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-012407
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212265
出願日： 1998年01月26日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 樹脂成分と酸発生剤を含有する化学増幅型のポジ型レジスト組成物であって、感度や解像度などの各種のレジスト性能が良好であるとともに、特に基板への接着性に優れるものを提供する。【解決手段】 下式(I)及び(II)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 は炭素数1〜4のアルキルを表す)で示される各重合単位を含む樹脂、並びに酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物。ここで用いる樹脂は、(メタ)アクリル酸2-アルキル-2-アダマンチルと無水マレイン酸をそれぞれ必須の構成モノマーとして共重合を行うことにより、製造できる。また、この樹脂はさらに、ブチロラクトン残基を有する重合単位を含むのが有利である。
請求項（抜粋）：
下式(I)及び(II)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 は炭素数1〜4のアルキルを表す)で示される各重合単位を含む樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
