特許
J-GLOBAL ID:201603003050072215

ワーク加工用シート基材およびワーク加工用シート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-506248
特許番号:特許第6035325号
出願日: 2013年03月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】ウレタンアクリレート系オリゴマーと、エネルギー線重合性モノマーとの混合物である、25°Cにおける粘度が100〜5,000,000mPa・Sのエネルギー線硬化性樹脂と、重合性シリコーン化合物とを含み、該重合性シリコーン化合物の質量割合が、1.0質量%以下であるエネルギー線硬化性組成物を製膜、硬化してなるフィルムを含むワーク加工用シート基材。
IPC (5件):
C08F 290/06 ( 200 6.01) ,  C09J 7/02 ( 200 6.01) ,  C09J 201/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (5件):
C08F 290/06 ,  C09J 7/02 Z ,  C09J 201/00 ,  H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/78 M
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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