形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-165607
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025782
特許番号：特許第6019886号
出願日： 2012年07月26日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1空間周期及び第1投影輝度振幅を有する第1格子縞画像を、被測定面に投影する、第1投影手段と、第2空間周期及び第2投影輝度振幅を有する第2格子縞画像を、被測定面に投影する、第2投影手段と、被測定面に投影された格子縞画像の位相を変化させることが可能な、位相変位手段と、被測定面に投影された格子縞画像を撮像することが可能な、撮像手段と、前記位相の変化に対応する、前記撮像手段の受光輝度の変化に基づいて、被測定面の形状を算出する、演算部と、を備え、前記第1空間周期は、前記第2空間周期よりも短く、前記第1投影輝度振幅は、前記第2投影輝度振幅より大きい、形状測定装置。

IPC (2件)：