特許
J-GLOBAL ID：200903061231680955

格子投影型モアレ装置、及び形状測定方法

発明者：
小林 富美男

小林 富美男 について

, 
大谷 幸利

大谷 幸利 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東京農工大学

国立大学法人東京農工大学 について


代理人 (3件)： 大渕 美千栄 ,  布施 行夫 ,  都築 美奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-300272
公開番号（公開出願番号）：特開2009-128030
出願日： 2007年11月20日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】 容易に両格子のピッチを変えることが可能であり、簡単な構成で不要縞の除去や測定対象物の凹凸判定を行うことが可能な格子投影型モアレ装置を提供すること。【解決手段】 測定対象物の形状を測定するための格子投影型モアレ装置において、第1の液晶格子26の像を測定対象物42に投影する投影光学系20と、測定対象物42に形成された変形格子像を第2の液晶格子38上に結像させる結像光学系30と、前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得する撮像部32と、第1の液晶格子26及び第2の液晶格子38の格子パターンを制御する制御部50と、を含むことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象物の形状を測定するための格子投影型モアレ装置において、 第1の液晶格子の像を前記測定対象物に投影する投影光学系と、 前記測定対象物に形成された変形格子像を第2の液晶格子上に結像させる結像光学系と、 前記結像により形成されたモアレ縞を撮像してモアレ縞画像を取得する撮像部と、 前記第1の液晶格子及び前記第2の液晶格子の格子パターンを制御する制御部と、 を含むことを特徴とする格子投影型モアレ装置。
IPC (1件)：
G01B 11/25
FI (1件)：
G01B11/25 H
Fターム (13件)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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